中国电科旗下电科装备研（yán）制成（chéng）功的（de）离（lí）子注入（rù）机。中国电（diàn）科 供图

　　中新网北京3月17日电 (记者 孙自法（fǎ）)记者17日从中国电子科技集团有限公司(中国电科（kē）)获悉，该集团旗下（xià）电科装备已成功实现离子注入机全谱（pǔ）系产品（pǐn）国产化（huà），可（kě）为全球芯片制造企（qǐ）业提供离子（zǐ）注（zhù）入机一站式解决方案。

　　中国电科介绍说（shuō），离子注入机是芯片制（zhì）造中（zhōng）的关键装备。电科装备连续（xù）突破（pò）大（dà）流（liú）强长寿命高品质离子源、高（gāo）速（sù）晶圆（yuán）传输等“卡（kǎ）脖子”关键（jiàn）技术，自主研制出中（zhōng）束流、大束（shù）流、高能、特种应用及（jí）第三（sān）代半（bàn）导体等离子注入机，工艺段覆盖至28纳（nà）米（mǐ），已累计形成（chéng）核心发明专利413项，实现（xiàn）中国芯片制造领域全（quán）谱系离（lí）子注入机（jī）自主创新发展（zhǎn），将有效缓解中国芯片制造（zào）领域断链（liàn）、短链难题（tí）。

　　中国电科表示，下一步，电科（kē）装备将瞄准高端，紧跟先（xiān）进（jìn）工艺（yì）发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入（rù）机（jī）的研发及（jí）产业化（huà）。

　　据了解，中国（guó）电（diàn）科是中国军工电子（zǐ）主力（lì）军、网（wǎng）信事业（yè）“国家队”、国（guó）家战（zhàn）略科技力量，拥有电子（zǐ）信息领域相对完备的科技创新体系。目前，中国电科（kē）旗下（xià）包括47家国家级研究院（yuàn）所、11家上市公司在内的企事业单位500余家，员工20余万（wàn）名，并拥有35个国家级重点实验室（shì）、研究中心（xīn）和（hé）创新中（zhōng）心。